bashのヒアドキュメントでエスケープしたくない場合はEOFを'EOF'にします。

gistfile1.txt

$ cat ./heredoc_escape.sh
#!/bin/bash
cat <<EOF
FOO=$6$
EOF
$ ./heredoc_escape.sh
FOO=$

$ vim ./heredoc_escape.sh
$ cat ./heredoc_escape.sh
#!/bin/bash
cat <<'EOF'
FOO=$6$
EOF
$ ./heredoc_escape.sh
FOO=$6$

$ vim ./heredoc_escape.sh
$ cat ./heredoc_escape.sh
#!/bin/bash
cat <<EOF
FOO=\$6$
EOF
$ ./heredoc_escape.sh
FOO=$6$

20行目以降のように'EOF'ではなくEOFにしておいて中身をエスケープする手もあります。